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2022-09-23
离子注入的优点
➊ 精确地控制掺杂浓度和掺杂深度
离子注入层的深度依赖于离子能量、杂质浓度依赖于离子剂量，可以独立地调整能量和剂量，精确地控制掺杂层的深度和浓度，工艺自由度大。
➋ 可以获得任意的杂质浓度分布
由于离子注入的浓度峰在体内，所以基于第1点采用多次叠加注入，可以获得任意形状的杂质分布，增大了设计的灵活性。目前多种产品的部分结构均采用多次叠加注入使产品性能提高。
➌ 杂质浓度均匀性好、重复性好
用扫描的方法控制杂质浓度均匀性。目前部分厂家已开发出部分区域补偿注入的机型，可有效提升产品片内均匀性。
➍ 注入源多样性
原则上，任何元素都可以用作注入离子，注入元素和基质材料的选择不受限制，形成的结构不受热力学参数（扩散、溶解度等）的限制；
另外，离子注入还有掺杂温度低（<100°）、沾污少、横向扩散少等优点。
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